產(chan) 品型號：SAL1000G
更新時間：2024-11-07
廠商性質：經銷商
訪 問 量 ：2518
021-58362582
SAL1000G原子層沉積係統特點：
- 多樣性 -
· 真空可移動的手套箱可以處理易氧化的樣品。
· 前驅體(ti) 標配兩(liang) 組閥門和氣瓶。
· 可選擇將前驅體(ti) 加熱至200攝氏度。
· 可選擇基片自動旋轉支架。
· 可選擇粉體(ti) 沉積配件。
· 可選擇經濟實惠的廢氣處理設備。
- 表現 -
· 保證基片表麵上的每個(ge) 均勻原子層針孔自由層沉積。
· 通過階梯覆蓋沉積在不均勻或3D形狀的表麵。
· 與(yu) CVD和PVD相比，可以獲得更好的沉積，特別是對於(yu) 具有更高縱橫比和多孔沉積材料。
- 操作界麵友好 -
· 觸摸屏使用戶可以輕鬆設置配方或沉積過程，並檢查每個(ge) 驅動係統的運動。
· 可進行自動沉積，並在沉積完成後自動完成N2排放。
· 手套箱的真空排氣和惰性氣體(ti) 的引入也可自動完成。
- 安全性 -
· 這是具有各種互鎖功能的高級設備。
- 具有輕柔關(guan) 閉功能的頂部艙口使用戶可以輕鬆地裝載和卸載基片。
SAL1000G原子層沉積係統技術參數：
性能 | |||
真空度 | 到達壓力 | ≤5Pa | |
成膜性能 | 膜厚分布 | ≤± 3% （φ 100mm） | |
設備構成 | |||
設備型號 | SAL1000G | ||
成膜方向 | 下表麵 | ||
基底尺寸 | φ 100mm or 4 inch Max | ||
基底加熱器溫度 | 350℃ Max | ||
前驅體(ti) 數 | 2 | ||
前驅體(ti) 溫度 | 150℃ Max | ||
淨化氣體(ti) | N2 （氣體(ti) 控製：帶流量計針型閥） | ||
手套箱 | 有機玻璃，真空-氮氣吹掃式 | ||
真空泵 | 162L/min 旋片式真空機械泵 | ||
重量 | 本體(ti) ：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg | ||
可選配置 | 基片自動旋轉支架 粉體(ti) 沉積配件 廢氣處理設備 前驅體(ti) 加熱器- 200℃ | ||
安裝要求 | |||
電源要求 | 電源 | 3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz | |
接地 | ＜100Ω | ||
線纜 | 5m 附贈 | ||
N2吹掃氣體(ti) | 供給壓力 | 0.1 ~.0.2Mpa | |
接口 | 1/4 Swagelok | ||
壓縮空氣 | 供給壓力 | 0.6 ~0.8Mpa | |
接口 | φ6mm 接口 | ||
真空泵排氣口 | 排氣口 | KF-25法蘭(lan) | |
設備排氣口 | 排氣口 | φ38mm x L28軟管適配器 | |
安裝尺寸 | W1000 x D700 x H900 | ||
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