SAL1000G是一款包含手套箱小型桌麵ALD原子層沉積係統，具有良好的均勻性及*的階梯覆蓋性能，使用戶能夠精確控製每個(ge) 原子層的沉積。通過手套箱，可在惰性氣體(ti) 環境下進行操作，並且可以防止吸入納米級顆粒。該設備是小型且經濟實惠的型號，與(yu) 主機和控製電源相結合，追求僅(jin) 在桌麵上更容易操作。 它能夠處理多達4“晶圓的沉積，並對每個(ge) 部件采取安全措施。