RTP快速退火爐已經成為半導體、鐵電體以及鍍膜行業的重要退火技術。但是目前，隻有大型的、昂貴的生產設備才能完成快速熱處理，這大大降低了研發工作的效率（尤其是小的樣品）。為了滿足市場的需求，ADVANCE RIKO研發出MILA-5000係列的小型快速退火爐。此係列的設備包含紅外金麵反射爐和高精度的溫度控製器。根據需求選配相應的泵和氣體接口，MILA能提供與大型RTP設備相同的熱處理性能。

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