RTP快速退火爐已經成為(wei) 半導體(ti) 、鐵電體(ti) 以及鍍膜行業(ye) 的重要退火技術。但是目前，隻有大型的、昂貴的生產(chan) 設備才能完成快速熱處理，這大大降低了研發工作的效率（尤其是小的樣品）。為(wei) 了滿足市場的需求，ADVANCE RIKO研發出MILA-5000係列的小型快速退火爐。此係列的設備包含紅外金麵反射爐和高精度的溫度控製器。根據需求選配相應的泵和氣體(ti) 接口，MILA能提供與(yu) 大型RTP設備相同的熱處理性能。